前段製程設備

前段製程設備涵蓋晶圓製造前段使用的關鍵設備、耗材與自動化解決方案。納入標準是產品直接支援曝光、濕製程、搬運或檢測等晶圓廠前段流程。

相關個股

• 弘塑（3131）：弘塑是半導體濕製程設備龍頭，提供前段晶圓清洗、蝕刻及單晶圓旋轉製程所需的化學處理系統。
• 牧德（3563）
• 家登（3680）：家登為極紫外光光罩盒（EUV Pod）主要供應商，產品直接用於晶圓廠前段微影曝光製程的光罩保護與傳輸。
• 鈦昇（8027）
• 京鼎（3413）：京鼎為家登集團精密機械廠，代工製造微影等前段設備所需真空腔體與結構零件。
• 辛耘（3583）：辛耘為半導體濕式製程設備商，提供晶圓廠前段清洗、蝕刻設備及相關耗材。